1、1用电子束EbeamLithography,好处是精度极高,目前实验室级别的Ebeam最小可以写到1纳米,不需要Mask但是因为精度高,所以写片子的时候速度会很慢2Microprinting类似于刻字印刷那种样子~,不是太。2、喷...
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