三星电子开发出透光率达88%的EUV薄膜
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集微网动静，三星电子在202*年在代工场论坛上颁布发表自主研发EUV薄膜（pellicle）的动静，据ETNews报导，在2022岁尾三星电子完成透光率达88%的EUV薄膜产物开发，并能够大规模消费。
报导指出，韩国的EUV薄膜不断被外部厂商垄断，三星电子开发EUV薄膜，是为应对将来的需求变革并实现供给多样化，供给链多元化和不变值得等待。业界预测，本年EUV薄膜的需求将比去年增加近2倍。报导暗示，最早在*~2年内，韩国国产EUV薄膜将应用于商用化、量产消费线。
按照此前报导，除了开发本身的EUV薄膜外，三星电子还在鞭策与国内次要质料公司的合做。据台媒DIGITIMES报导，三星电子将在其*nm工艺中接纳透光率超越90%的最新EUV薄膜以进步良率，那些薄膜未来自韩国公司SS Tech。
SS Tech在202*年消费胜利开发出了透光率达90%的半导体EUV薄膜，并颁布发表最早将于202*年上半年进入透光率超越90%的EUV薄膜的批量消费。
（校对/张杰）
