上海微电子的28nm光刻机现在到底怎么样了？
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目前外面流出来的消息不太多，不过上海微电子作为一家公司，如果研发成功一定会官宣，现在没消息只能说至少还没有到官宣的阶段。
据说去年评审没通过，内情不知，一台DUV光刻机也是非常复杂的，很多东西不是有了理论和设计就能解决的，里面有太多经验值，这个只能靠时间积累，没有捷径！
希望尽快能有好消息，也有可能正在试车中，不过还有问题，没有达到商用状态，总之，希望在不久将来能看到上海微电子DUV光刻机面世！
